Sputtering Vacuum Coating Machine_Titanium Plating Vacuum Coating Equipment_Foxin Vacuum Plating Machine Titanium Plating Furnace

Машина для вакуумного напыления, оборудование для титановым покрытием, вакуумная машина Foxin для титановым покрытием, печь для титановым покрытием

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佛山市佛欣真空技术有限公司

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Описание товара

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FOXIN-GD超长高度多弧离子镀膜机型号（高度4m以上）
性能型号	GD-1840	GD-2340	GD-2540	GD-2345	GD-2548	GD-2265
镀膜室尺寸：mm	Ф1800×H4000	Ф2300×H4000	Ф2500×H4000	Ф2300×H4500	Ф2500×H4800	Ф2200×H6500
真空室结构	立式开门、吊装或卧室推车结构配置抽气系统及水冷系统
真空获得系统	维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）
真空测量系统	一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS)
电源类型	直流电源、中频电源、脉冲电源（偏压电源、弧电源）
真空指标	空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa
电弧源	22台-28台	22台-28台	26台-32台	26台-32台	32台-48台	32台-48台
电弧源	200A-300A	200A-300A	200A-300A	200A-300A	200A-300A	200A-300A
偏压电源	60KW/1台	60KW/1台	70KW/1台	70KW/1台	80KW/1台	100KW/1台
磁控电源	————	————	————	————	————	————
工件转动方式	多轴行星式公自转、变频调速（可控可调）
工件烘烤温度	常温-至450℃可控可调（PID温控）
工艺气体	3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
工艺气体	氩气、氮气、氧气、乙炔等
冷却方式	水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供）
控制方式	PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、
供给指标	气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、
报警及保护	对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。
整机总功率	165~185KW	185~200KW	200~225KW	225~245KW	245~265KW	265~300KW
输出频率	电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置）
设备占地面积	25~55m2	35~55m2	35~55m2	45~55m2	45~55m2	55~75m2
备注	可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。

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