Производители Баоцзи высококачественная мишень из ниобия 3N5 круглая мишень для вакуумного покрытия

铌靶材

用途：铌及铌合金靶材主要应用于表面工程材料，如船舶、化工、液晶显示器（LCD）以及耐热、耐腐蚀高导电等镀膜行业。

纯度：99.95%～99.99%。

规格：方靶材，厚度x宽度x长度=5～25x≤800x≤2000（mm）；

      圆靶材，厚度x直径=5～25x≤Φ800（mm）。

 

 

其它性能：

 

金属元素含量表  单位（ppm）

 

元素	含量	元素	含量	元素	含量
Al	≤5	Cr	≤5	Cu	≤10
Fe	≤20	Hf	≤20	Mn	≤5
Mo	≤10	Ni	≤5	Si	≤30
Ta	≤200	Ti	≤5	W	≤15
Zr	≤50			Nb	余量

 

气体元素含量表  单位（ppm）

 

元素	含量	元素	含量
C	≤50	N	≤50
O	≤100	H	≤10

 

晶粒度：再结晶程度≥98%，平均晶粒度<100μm，晶粒分布均匀，无分层现象。

 

平面度≤0.2mm。

 

表面粗糙度<1.6μm。